TEL Tokyo Electron EC81-000007-11控制單元模塊 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產(chǎn)品名稱：EC81-000007-11 控制單元模塊
別名：TEB405-1/FD2 控制電路板
制造商：Tokyo Electron Ltd.（東京電子）
產(chǎn)品類型：控制邏輯模塊 / 控制核心 PCB
一、產(chǎn)品功能說明
該模塊是一塊集成控制功能的電路板，用于 Tokyo Electron 半導體設備中的核心控制系統(tǒng)。其功能主要集中在以下幾個方面：
中央控制處理
作為主控系統(tǒng)的一部分，協(xié)調設備中各個部件（例如氣閥、真空泵、加熱器等）的啟停邏輯。
執(zhí)行設定的控制程序，包括工藝參數(shù)設定、狀態(tài)切換及報警聯(lián)鎖邏輯。
信號中樞轉發(fā)
接收上位機（主機）或操作面板的指令信號，并將其轉換為設備內(nèi)部控制信號。
通過系統(tǒng)總線或串行通信協(xié)議與其他控制模塊協(xié)同工作。
設備運行狀態(tài)監(jiān)控
實時采集各個接口模塊或傳感器的狀態(tài)，反饋至主控系統(tǒng)。
支持模塊級故障檢測、自檢功能。
二、典型應用領域
東京電子 UNITY II 系列蝕刻設備
在該系列中作為核心控制模塊，承擔整個設備的流程控制功能。
控制真空腔室、等離子體系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等關鍵單元。
TEL 晶圓處理設備
可用于 CVD、ALD、后處理設備中作控制主板使用。
工藝控制中心邏輯板
適用于精密工藝設備中控制時序、保護邏輯、通信交換等核心操作。
英文資料：
Product Name: EC81-000007-11 Control Unit Module
Alias: TEB405-1/FD2 Control Circuit Board
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
Product Type: Control Logic Module/Control Core PCB
1、 Product Function Description
This module is a circuit board with integrated control functions, used for the core control system in Tokyo Electron semiconductor equipment. Its functions mainly focus on the following aspects:
Central Control Processing
As part of the main control system, coordinate the start stop logic of various components in the equipment, such as air valves, vacuum pumps, heaters, etc.
Execute the set control program, including process parameter setting, state switching, and alarm interlock logic.
Signal center forwarding
Receive command signals from the upper computer (host) or operation panel and convert them into internal control signals of the device.
Collaborate with other control modules through system bus or serial communication protocol.
Equipment operation status monitoring
Real time collection of the status of various interface modules or sensors, and feedback to the main control system.
Support module level fault detection and self checking functions.
2、 Typical application areas
Tokyo Electronics UNITY II series etching equipment
As the core control module in this series, it undertakes the process control function of the entire device.
Control key units such as vacuum chambers, plasma systems, cooling systems, etc.
TEL wafer processing equipment
Can be used as a control board in CVD, ALD, and post-processing equipment.
Process Control Center Logic Board
Suitable for core operations such as control timing, protection logic, and communication exchange in precision process equipment.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
4.其他英文產(chǎn)品
ABB 70BV05a-ES bus controller module
DEIF LSU-113DG voltage regulator
| PC842-001-A | 6SC6190-0FB00 | NTRO04 |
| PC834-XYZ-T | AMAT 0100-00070 | 57390001-7 D5001 SB5032 ABB |
| PC834-XYZ-N | AMAT 0100-00986 | PMKHRMBRC3000A |
| PC834-XYZ-A | AMAT 0100-18040 | NKTK01-10 |
| PC834-106-N | AMAT 0100-00054 | 7LD21 |
| PC834-105-N | AMAT 0100-90259 | HESG447271R0002 70BK03B-ES |
| PC834-101-N | AMAT 0100-00017 | PHARPS32010000 |
| PC834-001-T | AMAT 0100-90468 | HESG447224R0002 70AB01C-ES |
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