TEL Tokyo Electron 2180-020891-12印刷電路板 PDF資料
1.產 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產品名稱：TEL Tokyo Electron 2180-020891-12 印刷電路板
設備類型：數(shù)字輸入輸出（DIO）互鎖電路板
制造商：Tokyo Electron Ltd.（日本東京電子）
一、主要應用領域
半導體制造設備
主要用于Tokyo Electron的清洗、涂膠、光刻等工藝設備。
作為數(shù)字信號的輸入輸出與互鎖控制核心板。
安全互鎖控制
實現(xiàn)設備關鍵環(huán)節(jié)的互鎖保護，防止誤操作和設備損壞。
協(xié)助控制泵浦、閥門等執(zhí)行機構的安全聯(lián)動。
數(shù)字信號處理
負責外部與內部數(shù)字信號的轉換、傳輸和狀態(tài)監(jiān)測。
支持與PLC及主控系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)交互。
二、典型功能概述
數(shù)字輸入輸出接口
設備互鎖邏輯控制
狀態(tài)指示與故障檢測
電氣隔離保護
便于維護的模塊化設計
三、適配系統(tǒng)或產品系列（示例）
Tokyo Electron Clean Track系列
Tokyo Electron涂膠與光刻設備
其他需數(shù)字信號互鎖控制的半導體工藝設備
英文資料：
Product Name: TEL Tokyo Electron 2180-020891-12 Printed Circuit Board
Device type: Digital Input/Output (DIO) Interlocking Circuit Board
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
1、 Main application areas
Semiconductor Manufacturing Equipment
Mainly used for cleaning, coating, photolithography and other process equipment of Tokyo Electron.
As the input/output and interlock control core board for digital signals.
Security interlock control
Implement interlocking protection for critical equipment links to prevent misoperation and equipment damage.
Assist in controlling the safety linkage of actuators such as pumps and valves.
Digital signal processing
Responsible for the conversion, transmission, and status monitoring of external and internal digital signals.
Support data exchange between PLC and main control system.
2、 Typical Function Overview
Digital input/output interface
Equipment interlock logic control
Status indication and fault detection
Electrical isolation protection
Modular design for easy maintenance
3、 Adaptation system or product series (example)
Tokyo Electron Clean Track Series
Tokyo Electron Coating and Photolithography Equipment
Other semiconductor process equipment requiring digital signal interlock control
2.產 品 展 示
3.其他產品
4.其他英文產品
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