TEL Tokyo Electron 2L80-002259-11溫度控制單元 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產(chǎn)品名稱：TEL Tokyo Electron 2L80-002259-11 溫度控制單元
設備類型：溫度控制單元
制造商：Tokyo Electron Ltd.（日本東京電子）
一、主要應用領域
半導體制造設備
主要用于Tokyo Electron的清洗、涂膠、光刻等工藝設備。
溫度控制
實現(xiàn)設備關鍵部件的溫度控制，防止過熱或溫度異常。
設備保護
協(xié)助控制溫度傳感器、加熱器等執(zhí)行機構(gòu)的安全聯(lián)動。
二、典型功能概述
溫度監(jiān)測與調(diào)節(jié)
溫度異常報警
加熱器控制
溫度傳感器接口
設備溫度保護
模塊化設計，便于維護
三、適配系統(tǒng)或產(chǎn)品系列（示例）
Tokyo Electron Clean Track系列
Tokyo Electron涂膠與光刻設備
其他需溫度控制的半導體工藝設備
英文資料：
Product Name: TEL Tokyo Electron 2L80-002259-11 Temperature Control Unit
Equipment type: Temperature control unit
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
1、 Main application areas
Semiconductor Manufacturing Equipment
Mainly used for cleaning, coating, photolithography and other process equipment of Tokyo Electron.
temperature control
Implement temperature control of key components of the equipment to prevent overheating or abnormal temperature.
equipment protection
Assist in controlling the safety linkage of temperature sensors, heaters, and other actuators.
2、 Typical Function Overview
Temperature monitoring and regulation
Abnormal temperature alarm
heater control
Temperature sensor interface
Equipment temperature protection
Modular design for easy maintenance
3、 Adaptation system or product series (example)
Tokyo Electron Clean Track Series
Tokyo Electron Coating and Photolithography Equipment
Other semiconductor process equipment requiring temperature control
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
4.其他英文產(chǎn)品
IC3600SPRB1 Gas Turbine Contro
ABB UN0807C-P Programmable Controller
| K32HLLK-LNK-NS-01 | S6001 | INNPM12 |
| K32HLFM-LNK-NS-00 | SJC4A41-81 | 6ES5-431-8MC11 |
| K32HLFJ-LNK-NS-01 | PC843-001-T | 710-805351-00 |
| K32HCHM-LNK-NS-01 | SV3402-01000 | TRICONEX 9761-210 |
| K32HCHM-LNK-NS-00 | ACS4820-700C | TRICONEX 8101 |
| K32HCHM-LEK-M2-01 | SBD4-45-2101-4235DA2 | TRICONEX 8305A |
| K32HCHM-LEK-M2-00 | SB105-6209 | TRICONEX 9566-810 |
| K32HCHL-LNK-NS-01 | SPAE-1215-104 | IEPDS01 |
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