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TEL Tokyo Electron 1B80-002390-11閥門區(qū)域板 PDF資料 

1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：

中文資料：

TEL Tokyo Electron 1B80-002390-11 閥門區(qū)域板 — 產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

1. 氣體流路管理與分配
   該閥門區(qū)域板用于精確控制半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部各個工藝區(qū)域的氣體流向和分配，確保工藝氣體按照要求穩(wěn)定供應(yīng)。

2. 區(qū)域閥門控制
   負(fù)責(zé)設(shè)備中多個區(qū)域閥門的開關(guān)及調(diào)節(jié)，控制氣體流量和壓力，維持工藝條件的穩(wěn)定。

3. 自動化系統(tǒng)集成
   作為設(shè)備自動化控制系統(tǒng)的重要組成部分，與主控制系統(tǒng)協(xié)同，實現(xiàn)多區(qū)域閥門的集中管理與監(jiān)控。

4. 故障監(jiān)測與安全聯(lián)鎖
   實時監(jiān)測閥門狀態(tài)和氣體流路異常，出現(xiàn)異常時觸發(fā)報警和安全聯(lián)鎖，保障設(shè)備與人員安全。

5. 模塊化設(shè)計便于維護(hù)
   采用模塊化結(jié)構(gòu)，便于設(shè)備維護(hù)時快速更換或升級，提高設(shè)備的可維護(hù)性和可靠性。

英文資料：

TEL Tokyo Electron 1B80-002390-11 Valve Area Plate - Product Application Fields

Gas flow path management and distribution

This valve area board is used to precisely control the gas flow and distribution in various process areas inside semiconductor equipment, ensuring stable supply of process gases as required.

Regional valve control

Responsible for opening and adjusting valves in multiple areas of the equipment, controlling gas flow and pressure, and maintaining stable process conditions.

Automation system integration

As an important component of the equipment automation control system, it collaborates with the main control system to achieve centralized management and monitoring of multi zone valves.

Fault monitoring and safety interlocking

Real time monitoring of valve status and gas flow path abnormalities, triggering alarms and safety interlocks when abnormalities occur to ensure equipment and personnel safety.

Modular design facilitates maintenance

Adopting a modular structure facilitates quick replacement or upgrade during equipment maintenance, improving the maintainability and reliability of the equipment.

2.產(chǎn)      品      展      示      

3.其他產(chǎn)品

ASEA 2668 182-120 Pcb電路板

ABB SB822?3BSE018172R1? 電源模塊

GE IS215UCVEM08B 處理器板類型

4.其他英文產(chǎn)品

GE IS210BPPBH2BMD Controller Module

KOLLMORGEN CP310250 PRD-P310250Z-55 serv

IS420PUAAH1A Ethernet Switch

本篇文章出自瑞昌明盛自動化設(shè)備有限公司官網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請附上此鏈接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron  

型號：1B80-002390-11閥門區(qū)域板

質(zhì)保：一年

成色：全新/二手

優(yōu)勢產(chǎn)品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特點：主營產(chǎn)品各種模塊/卡件，控制器，觸摸屏，伺服驅(qū)動器。

應(yīng)用行業(yè)：廣泛應(yīng)用于冶金、石油天然氣、玻璃制造業(yè)、鋁業(yè)、石油化工、煤礦、造紙印刷、紡織印染、機(jī)械、電子制造、汽車制造、煙草、塑膠機(jī)械、電力、水利、水處理/環(huán)保、市政工程、鍋爐供暖、能源、輸配電等

快遞方式：國內(nèi)順豐、德邦、京東快遞包郵，按照實際報價貨期發(fā)貨  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2機(jī)箱