TEL Tokyo Electron 1B80-002392-11接口板 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產(chǎn)品名稱：TEL Tokyo Electron 1B80-002392-11 接口板
類別：電子接口模塊 / Interface Board
制造商：Tokyo Electron Limited（TEL）
一、產(chǎn)品功能概述
TEL 的接口板通常用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中，作為信號交換、通信橋接與系統(tǒng)協(xié)同控制的核心模塊，主要實(shí)現(xiàn)以下功能：
提供控制單元與執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間的電氣連接
轉(zhuǎn)換和中繼來自傳感器、執(zhí)行器或外部子系統(tǒng)的信號
對信號進(jìn)行格式轉(zhuǎn)換、緩沖處理或邏輯判斷
作為系統(tǒng)互鎖、錯誤檢測與聯(lián)動控制的一部分
二、典型應(yīng)用領(lǐng)域
1. 薄膜沉積設(shè)備（CVD / ALD / PVD）
用于氣體流量控制單元（MFC）、加熱平臺、閥門執(zhí)行機(jī)構(gòu)與主控系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)與控制信號傳輸。
2. 等離子體刻蝕機(jī)（Etcher）
連接RF電源、真空腔體控制器、溫控器與主控模塊；
實(shí)現(xiàn)過程監(jiān)控信號的收發(fā)與控制。
3. 晶圓清洗設(shè)備（Wafer Cleaners）
連接噴淋裝置、液體閥組、電動執(zhí)行元件等；
實(shí)現(xiàn)多通道傳感與控制。
4. 晶圓傳輸系統(tǒng)（Transfer Module）
協(xié)調(diào)機(jī)械臂、位置傳感器、電機(jī)驅(qū)動器與控制系統(tǒng)的通信；
保障晶圓在真空環(huán)境中高精度傳輸。
5. 光刻與曝光設(shè)備（Lithography）
管理曝光頭、電動調(diào)焦平臺、UV源與控制系統(tǒng)間的信號傳輸；
提供穩(wěn)定的接口邏輯。
英文資料：
Product Name: TEL Tokyo Electron 1B80-002392-11 Interface Board
Category: Electronic Interface Module/Interface Board
Manufacturer: Tokyo Electron Limited (TEL)
1、 Product Function Overview
TEL interface boards are commonly used in semiconductor manufacturing equipment as core modules for signal exchange, communication bridging, and system collaborative control. They mainly achieve the following functions:
Provide electrical connections between the control unit and the actuator
Convert and relay signals from sensors, actuators, or external subsystems
Format conversion, buffering, or logical judgment of signals
As part of system interlocking, error detection, and linkage control
2、 Typical application areas
1. Thin film deposition equipment (CVD/ALD/PVD)
Used for data and control signal transmission between gas flow control units (MFCs), heating platforms, valve actuators, and main control systems.
2. Plasma Etcher
Connect RF power supply, vacuum chamber controller, temperature controller and main control module;
Implement the transmission, reception, and control of process monitoring signals.
3. Wafer Cleaners
Connect spray devices, liquid valve groups, electric actuators, etc;
Realize multi-channel sensing and control.
4. Wafer Transfer Module
Coordinate the communication between the robotic arm, position sensor, motor driver, and control system;
Ensure high-precision transmission of wafers in a vacuum environment.
5. Lithography and Exposure Equipment
Manage the signal transmission between the exposure head, electric focusing platform, UV source, and control system;
Provide stable interface logic.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
BENTLY 1900/55 190055-0Z-01-01-01地震監(jiān)測模塊
4.其他英文產(chǎn)品
Eaton XV-440-10TVB-1-50 Touch Screen
FOXBORO FBM217 Voltage Monitor Module
HONEYWELL 05704-A-0146 Digital
| 750-P5-G5-S5-HI-A20-G | 8020-SCP-521 | 8030-HOM-271 |
| 750-P5-G5-S1-HI-A20-R | 8020-SCP-452 | 8030-HOM-261 |
| 750-P5-G5-D5-HI-A20-R-E | 8020-SCP-444 | 8030-GOM-221 |
| 750-P5-G5-D5-HI-A20-R | 8005-LNC-101 | 8030-EQ5138-G2 |
| 750-P5-G5-D5-HI-A20-G | 8005-LCB-10 | 8030-EQ5138-G1 |
| 750-P5-G1-S1-LO-A1-R-E | 8005-FCB-10 | 8030-EQ5-138-G2 |
| 750-P5-G1-S1-HI-A20-R | 8005-EPU-1 | 8030-EQ5-138-G1 |
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