TEL Tokyo Electron 1B80-002822-11控制板 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產(chǎn)品型號：TEL Tokyo Electron 1B80-002822-11
產(chǎn)品類型：控制板（Control PCB）
制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）
一、功能概述
該控制板用于TEL半導(dǎo)體制造設(shè)備中，主要承擔(dān)以下功能：
管理本地設(shè)備單元的運(yùn)行（如閥門、加熱器、泵等）
接收主控系統(tǒng)指令，輸出控制信號
采集傳感器數(shù)據(jù)并反饋至主控系統(tǒng)
執(zhí)行聯(lián)鎖保護(hù)和流程邏輯控制
可能包括模擬與數(shù)字信號接口
二、典型應(yīng)用領(lǐng)域
刻蝕系統(tǒng)（Etcher）
控制真空閥門、RF 電源、氣體流量等工藝關(guān)鍵單元。薄膜沉積系統(tǒng)（CVD/ALD）
管理溫度控制、氣體混合與閥門驅(qū)動邏輯。晶圓傳輸系統(tǒng)（Loadlock、Transfer Arm）
控制機(jī)械臂、位置傳感器、門禁系統(tǒng)動作。清洗系統(tǒng)或烘干模塊
控制液體輸送、電磁閥及溫控單元。
三、技術(shù)特性（常見）
多通道輸入輸出接口（數(shù)字/模擬）
通訊接口：TTL、RS485 或?qū)Ｓ每偩€
可能內(nèi)含 MCU 或邏輯控制芯片
信號隔離與濾波功能
與 TEL 控制主板、繼電器板等配套使用
英文資料：
Product model: TEL Tokyo Electron 1B80-002822-11
Product type: Control PCB
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)
1、 Function Overview
This control board is used in TEL semiconductor manufacturing equipment and mainly undertakes the following functions:
Manage the operation of local device units (such as valves, heaters, pumps, etc.)
Receive instructions from the main control system and output control signals
Collect sensor data and provide feedback to the main control system
Implement interlocking protection and process logic control
May include analog and digital signal interfaces
2、 Typical application areas
Etcher system
Control key process units such as vacuum valves, RF power supplies, and gas flow rates.
Thin film deposition system (CVD/ALD)
Manage temperature control, gas mixing, and valve drive logic.
Wafer Transfer System (Loadlock, Transfer Arm)
Control the actions of the robotic arm, position sensor, and access control system.
Cleaning system or drying module
Control liquid delivery, solenoid valves, and temperature control units.
3、 Technical characteristics (common)
Multi channel input/output interface (digital/analog)
Communication interface: TTL, RS485 or dedicated bus
May contain MCU or logic control chip
Signal isolation and filtering function
Used in conjunction with TEL control motherboard, relay board, etc
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
Kollmorgen? CB06561?PRD-B040SSLZ-62? 伺服控制器
4.其他英文產(chǎn)品
Kollmorgen 6SM37M-6000 servo motor
Radisys ATCA-PP81 controller module
AMAT 0190-24282 encoder module
| 6ES5835-6SC11 | CACR-120-PD1VDS01 | 68-0056-11 |
| 6ES5816-1AA21 | CACR-HR20UB | EPC-5P |
| 6ES5788-8MA11 | CACRSR20SB1BFY118 | 456162-004 |
| 6ES5782-2MB11 | CACR-SR20SF1BFB | RADI-EPC7 |
| 6ES5776-7LA12 | CACR-SR15SZ1SD-Y77, | CEGM45 |
| 6ES5760-2CA21 | CACR-IR-151515F | 63-306-0001 |
| 6ES5760-0AA11 | CACR-SR44BB1AF | EPC-8B |
| 6ES5755-2CA11 | CACR-HR44UBY9 | ATCA-2310 |
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