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TEL Tokyo Electron BX81-070082-12接口模塊 PDF資料 

1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：

中文資料：

BX81-070082-12 接口模塊
制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）
類別：接口模塊（Interface Module）

一、功能概述

BX81-070082-12 接口模塊用于半導(dǎo)體設(shè)備中，是系統(tǒng)控制單元與外圍執(zhí)行或傳感設(shè)備之間的信號(hào)橋接組件，其主要功能包括：

• 實(shí)現(xiàn)主控板與傳感器、執(zhí)行器、驅(qū)動(dòng)器等之間的信號(hào)交互

• 提供數(shù)字輸入/輸出、模擬信號(hào)、通信信號(hào)的集中管理

• 對(duì)信號(hào)進(jìn)行適配、電平轉(zhuǎn)換或緩沖，提升系統(tǒng)抗干擾性能

• 支持聯(lián)鎖控制與模塊化信號(hào)接入，增強(qiáng)系統(tǒng)穩(wěn)定性與可維護(hù)性

二、典型應(yīng)用領(lǐng)域

BX81-070082-12 主要用于 TEL 設(shè)備中需要 多點(diǎn)信號(hào)采集與控制輸出 的系統(tǒng)部分，常見應(yīng)用包括：

1. 晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)（Transfer Module）

• 連接電機(jī)、光電開關(guān)、限位傳感器

• 實(shí)現(xiàn)多軸動(dòng)作協(xié)調(diào)控制

2. 氣體控制/供應(yīng)模塊

• 接入 MFC（質(zhì)量流量控制器）、壓力開關(guān)、電磁閥等元件

• 實(shí)現(xiàn)工藝氣體的精密控制和聯(lián)鎖安全邏輯

3. Loadlock 模塊或腔體控制單元

• 管理真空閥、門控執(zhí)行器、壓力傳感器等設(shè)備的信號(hào)接入

• 用于設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行流程中的狀態(tài)判斷與動(dòng)作觸發(fā)

4. 清洗、烘干、液體處理區(qū)域

• 接入化學(xué)液流路、電加熱裝置、泵驅(qū)動(dòng)器

• 實(shí)現(xiàn)溫度、流量、液位等信號(hào)控制與反饋

英文資料：

BX81-070082-12 Interface Module

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

Category: Interface Module

1、 Function Overview

The BX81-070082-12 interface module is used in semiconductor equipment as a signal bridging component between the system control unit and peripheral execution or sensing devices. Its main functions include:

Realize signal interaction between the main control board and sensors, actuators, drivers, etc

Provide centralized management of digital input/output, analog signals, and communication signals

Adapt, level convert or buffer signals to enhance system anti-interference performance

Support interlocking control and modular signal access to enhance system stability and maintainability

2、 Typical application areas

BX81-070082-12 is mainly used in the system part of TEL equipment that requires multi-point signal acquisition and control output. Common applications include:

1. Wafer Transfer Module

Connect the motor, photoelectric switch, and limit sensor

Realize multi axis action coordination control

2. Gas control/supply module

Connect components such as MFC (Mass Flow Controller), pressure switch, solenoid valve, etc

Realize precise control and interlocking safety logic of process gases

3. Loadlock module or cavity control unit

Manage signal access for devices such as vacuum valves, door control actuators, pressure sensors, etc

Used for status judgment and action triggering in the automatic operation process of equipment

4. Cleaning, drying, and liquid processing areas

Connect chemical liquid flow path, electric heating device, pump driver

Realize signal control and feedback of temperature, flow rate, liquid level, etc

2.產(chǎn)      品      展      示      

3.其他產(chǎn)品

GE TB43225AF14 斷路器

KOLLMORGEN S70601-SE 數(shù)字量輸出模件

ABB 1TGE120011R2200 電機(jī)饋線控制單元

4.其他英文產(chǎn)品

Metrix 5533-104 Sensor

ABB SB822 3BSE018172R1 rechargeable??

ABB UN0803B-P Printed Circuit Board

本篇文章出自瑞昌明盛自動(dòng)化設(shè)備有限公司官網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請(qǐng)附上此鏈接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron  

型號(hào)：BX81-070082-12接口模塊

質(zhì)保：一年

成色：全新/二手

優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特點(diǎn)：主營(yíng)產(chǎn)品各種模塊/卡件，控制器，觸摸屏，伺服驅(qū)動(dòng)器。

應(yīng)用行業(yè)：廣泛應(yīng)用于冶金、石油天然氣、玻璃制造業(yè)、鋁業(yè)、石油化工、煤礦、造紙印刷、紡織印染、機(jī)械、電子制造、汽車制造、煙草、塑膠機(jī)械、電力、水利、水處理/環(huán)保、市政工程、鍋爐供暖、能源、輸配電等

快遞方式：國(guó)內(nèi)順豐、德邦、京東快遞包郵，按照實(shí)際報(bào)價(jià)貨期發(fā)貨  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2機(jī)箱