TEL Tokyo Electron 3D81-000020-V3電源 PCB 卡 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
一、基本信息
產(chǎn)品型號：3D81-000020-V3
產(chǎn)品名稱：電源 PCB 卡（Power Supply PCB Board）
制造商：Tokyo Electron Limited（TEL）
模塊類型：電源分配與管理用印刷電路板
版本號：V3（代表第三版，硬件已優(yōu)化或針對特定系統(tǒng)升級）
二、主要功能
| 功能類別 | 描述 |
|---|---|
| 電源分配 | 接收外部或上級模塊電源，將電力分配至多個子模塊或子系統(tǒng)使用。 |
| 電壓轉(zhuǎn)換 | 內(nèi)置 DC-DC 或穩(wěn)壓芯片，將輸入電壓轉(zhuǎn)換為所需工作電壓（如 24V 轉(zhuǎn) 5V/12V）。 |
| 過載/短路保護 | 提供電氣保護機制，如過電壓、過流保護、防反接設(shè)計。 |
| 狀態(tài)監(jiān)控 | 可能帶有 LED 狀態(tài)指示、電壓監(jiān)測等輔助功能。 |
| 信號接口 | 提供與控制板的電源通信與狀態(tài)反饋接口。 |
三、典型應(yīng)用場景
該電源 PCB 卡廣泛應(yīng)用于以下 TEL 設(shè)備模塊中：
光刻工藝支持系統(tǒng)（如 Clean Track ACT 系列）
為控制器、傳感器、加熱模塊、馬達等提供穩(wěn)定電源
CVD / Etch 系統(tǒng)（薄膜沉積或蝕刻）
用于關(guān)鍵腔體加熱元件、真空控制器、氣體流量模塊的電源管理
搬運與真空腔體控制系統(tǒng)
提供升降裝置、機械臂控制器、傳感反饋電路所需電源
英文資料：
1、 Basic Information
Product model: 3D81-000020-V3
Product Name: Power Supply PCB Board
Manufacturer: Tokyo Electron Limited (TEL)
Module type: Printed circuit board for power distribution and management
Version number: V3 (representing the third version, hardware optimized or upgraded for specific systems)
2、 Main functions
Functional category description
Power distribution receives external or higher-level module power and distributes power to multiple sub modules or subsystems for use.
The voltage conversion is equipped with a built-in DC-DC or voltage regulator chip, which converts the input voltage into the required operating voltage (such as 24V to 5V/12V).
Overload/short circuit protection provides electrical protection mechanisms such as overvoltage, overcurrent protection, and anti reverse design.
Status monitoring may have auxiliary functions such as LED status indication and voltage monitoring.
The signal interface provides power communication and status feedback interface with the control board.
3、 Typical application scenarios
This power PCB card is widely used in the following TEL device modules:
Lithography process support system (such as Clean Track ACT series)
Provide stable power supply for controllers, sensors, heating modules, motors, etc
CVD/Etch system (thin film deposition or etching)
Power management for key chamber heating elements, vacuum controllers, and gas flow modules
Handling and Vacuum Chamber Control System
Provide power supply for lifting devices, robotic arm controllers, and sensing feedback circuits
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
KOLLMORGEN AKM42E-EKGNR-01伺服電機
4.其他英文產(chǎn)品
UFC760BE143 inverter high-voltage board
ABB 70EB01b-E digital input module
| 22VM51-000-2 | 531X112PSAALG1 | 0052196-004 |
| 208-601-034-3 | 193X741AAG01 | F31X134EPRBEG1 |
| 208-600673-3 | 531X111PSHALG1 | F31X121PCRALG1 |
| 208-500686-1 | 193X740AFG01 | 201-500117-1 |
| 201-500283-2 | PA215T-133 | 710-658051-20 |
| 1BF41-0BC0 | PA210T-135 | F31X111PSHATG1 |
| 196918A-02 | PA210T-133 | 0284699-000 |
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