TEL Tokyo Electron 3M81-025137-21輸入輸出模塊 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
TEL Tokyo Electron 3M81-025137-21 輸入輸出模塊（I/O Module） 是一款用于半導(dǎo)體設(shè)備中信號(hào)傳輸與控制的關(guān)鍵電子模塊。它主要用于采集外部信號(hào)并將控制命令輸出到各個(gè)執(zhí)行裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備各部分之間的數(shù)據(jù)交互與自動(dòng)化控制。
一、基本信息
模塊名稱：輸入輸出模塊（Input/Output Module）
產(chǎn)品型號(hào)：3M81-025137-21
制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）
模塊類別：I/O接口類控制板卡
應(yīng)用對(duì)象：半導(dǎo)體工藝設(shè)備（Etcher、CVD、Cleaner、Coater/Developer 等）
二、主要功能
輸入功能
接收外部設(shè)備（傳感器、開關(guān)、檢測(cè)器等）的數(shù)字或模擬信號(hào)；
用于監(jiān)測(cè)工藝狀態(tài)、門控狀態(tài)、溫度/壓力報(bào)警等。
輸出功能
向執(zhí)行單元（如電磁閥、繼電器、指示燈、加熱器控制單元）發(fā)送控制命令；
控制各設(shè)備動(dòng)作的啟動(dòng)、停止或聯(lián)鎖執(zhí)行。
信號(hào)轉(zhuǎn)換與隔離
實(shí)現(xiàn)TTL、電流環(huán)、光電隔離等接口標(biāo)準(zhǔn)之間的兼容；
保證數(shù)據(jù)傳輸安全、抗干擾能力強(qiáng)。
與主控系統(tǒng)通信
與TEL主控系統(tǒng)（如PLC、IPC或嵌入式控制器）進(jìn)行數(shù)據(jù)通信與指令交換；
支持系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)與自動(dòng)流程控制。
英文資料：
The TEL Tokyo Electron 3M81-025137-21 Input/Output Module (I/O Module) is a critical electronic module used for signal transmission and control in semiconductor devices. It is mainly used to collect external signals and output control commands to various execution devices, realizing data exchange and automation control between different parts of the equipment.
1、 Basic Information
Module Name: Input/Output Module
Product model: 3M81-025137-21
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)
Module category: I/O interface control board
Application objects: Semiconductor process equipment (Etcher, CVD, Cleaner, Coater/Developer, etc.)
2、 Main functions
Input function
Receive digital or analog signals from external devices such as sensors, switches, detectors, etc;
Used for monitoring process status, gate control status, temperature/pressure alarms, etc.
output function
Send control commands to execution units (such as solenoid valves, relays, indicator lights, heater control units);
Control the start, stop, or interlock execution of various device actions.
Signal conversion and isolation
Realize compatibility between interface standards such as TTL, current loop, and optoelectronic isolation;
Ensure data transmission security and strong anti-interference ability.
Communicate with the main control system
Data communication and instruction exchange with TEL main control systems (such as PLC, IPC, or embedded controllers);
Support system linkage and automatic process control.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
ABB 3BHE046836R0101 GFD563A101控制器模塊
4.其他英文產(chǎn)品
ASEA 57360001-AN circuit board
LAM 810-800081-016 CPU motherb
Siemens 6ES7291-8GC00-0XA0 cartridge
| R46HENA-R2-NS-NV-00 | R24HENA-R1-NS-NV-01 | R32GEAC-R2-NS-NV-00 |
| R46HCNA-R2-NS-NV-00 | R43GEBA-TS-NS-NV-00 | S21GNNA-RNNL-00 |
| R46HCAA-R2-NS-VS-00 | R43HCBA-R2-NS-VS-00 | R35GENH-R2-NS-NV-00 |
| R46GSNA-TS-NS-VS-02 | R33SSNC-SS-NS-NV-02 | R32GMP-R2-NS-NV-07 |
| R46GSNA-TS-NS-NV-12 | R32GENP-R2-NS-VS-00 | R22GENT-TS-NS-NV-00 |
| R46GSNA-TS-NS-NV-11 | R21HENA-R1-NS-NV-01 | R33GSNC-HS-NS-NV-03 |
| R46GSNA-TS-NS-NV-09 | R43GENA-TS-NS-VS-00 | R34SSNT-TS-NS-NV-03 |
| R46GSNA-TS-NS-NV-08 | R22GMNA-R1-NS-NV-03 | R45GENA-R2-NS-VS-04 |
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