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TEL Tokyo Electron 3M08-027471-11接口模塊 PDF資料 

1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：

中文資料：

產(chǎn)品名稱：TEL Tokyo Electron 3M08-027471-11 接口模塊
設備類型：接口控制模塊 / I/O 模塊
制造商：Tokyo Electron Ltd.（日本東京電子）

一、主要應用領(lǐng)域

1. 半導體制造設備

• 蝕刻設備（Etcher）

• 化學氣相沉積設備（CVD）

• 原子層沉積設備（ALD）

• 應用于Tokyo Electron的前段制程設備，例如：

• 模塊用作控制系統(tǒng)和傳感器、執(zhí)行機構(gòu)之間的信號交互接口。

2. 自動化控制系統(tǒng)

• 控制氣閥、泵浦、加熱器、冷卻器等裝置的啟停狀態(tài)。

• 實現(xiàn)設備聯(lián)鎖邏輯管理和安全控制。

3. I/O 信號處理

• 處理外部輸入/輸出數(shù)字信號與模擬信號。

• 連接 PLC、主控板卡，實現(xiàn)工藝狀態(tài)監(jiān)控與響應。

4. 晶圓搬運系統(tǒng)（EFEM/FOUP Interface）

• 管理晶圓在設備間的自動傳輸過程。

• 接收來自晶圓傳送系統(tǒng)的狀態(tài)信號。

5. 潔凈室設備接口

• 用于潔凈室中設備對設備的標準化接口連接，確保通訊和運行同步。

二、典型功能概述

• 數(shù)字/模擬輸入輸出接口

• 電氣隔離與保護功能

• 通信協(xié)議支持（如 TEL 專有接口、RS232/422/485）

• 故障檢測與狀態(tài)指示功能

• 可熱插拔或便于維護的 PCB 架構(gòu)

英文資料：

Product Name: TEL Tokyo Electron 3M08-027471-11 Interface Module

Equipment type: Interface control module/I/O module

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd

1、 Main application areas

Semiconductor Manufacturing Equipment

Applied to the front-end process equipment of Tokyo Electron, such as:

Etcher equipment

Chemical Vapor Deposition Equipment (CVD)

Atomic layer deposition equipment (ALD)

Modules are used as signal interaction interfaces between control systems, sensors, and actuators.

automatic control system

Control the start and stop status of devices such as air valves, pumps, heaters, and coolers.

Implement equipment interlocking logic management and safety control.

I/O signal processing

Process external input/output digital and analog signals.

Connect PLC and main control board to achieve process status monitoring and response.

Wafer Handling System (EFEM/FOUP Interface)

Manage the automatic transfer process of wafers between devices.

Receive status signals from the wafer transfer system.

Clean room equipment interface

Used for standardized interface connections between equipment in clean rooms to ensure communication and synchronous operation.

2、 Typical Function Overview

Digital/Analog Input/Output Interface

Electrical isolation and protection function

Communication protocol support (such as TEL proprietary interfaces RS232/422/485）

Fault detection and status indication function

PCB architecture that is hot swappable or easy to maintain

2.產(chǎn)      品      展      示      

3.其他產(chǎn)品

CTB810 HN800 轉(zhuǎn)換變壓器

ABB UN0942b-P 數(shù)字量擴展模塊

GE VMIVME-017807-414001 直流信號輸出模塊

4.其他英文產(chǎn)品

ABB UN1024c-P Remote Terminal Module

ABB 70BK03c-E Control I/O Module

ABB 70AB01c-ES control board

本篇文章出自瑞昌明盛自動化設備有限公司官網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請附上此鏈接:http://www.jiangxidcs